微細化
半導体プロセス
半導体の微細化と国際半導体技術ロードマップ
半導体の微細化に関して、第１回では半導体の大きなトレンドであるムーアの法則と微細化について第2回では半導体プロセスと微細化のキープロセスであるリソグラフィについて説明しました。今回は、実際に微細化がどのように進んできたのかをお話ししましょう。
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